GB/T 6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法
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来源:标准资料网
基本信息
| 标准名称： | 硅片翘曲度非接触式测试方法 |
| 英文名称： | Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning |
| 中标分类： |
冶金 >>
半金属与半导体材料 >>
元素半导体材料 |
| ICS分类： |
电气工程 >>
半导体材料
|
| 替代情况： | 替代GB/T 6620-1995 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2009-10-30 |
| 实施日期： | 2010-06-01 |
| 首发日期： | 1986-07-26 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 提出单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 起草单位： | 洛阳单晶硅有限责任公司，万向硅峰电子股份有限公司 |
| 起草人： | 张静雯、蒋建国、田素霞、刘玉芹、楼春兰 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2010-06-01 |
| 页数： | 12页 |
| 计划单号： | 20065631-T-469 |
适用范围
本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片(以下简称硅片)翘曲度的非接触式测试方法。
本标准适用于测量直径大于50mm,厚度大于180μm 的圆形硅片。本标准也适用于测量其他半导体圆片的翘曲度。本测试方法的目的是用于来料验收或过程控制。本测试方法也适用于监视器件加工过程中硅片翘曲度的热化学效应。
前言
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目录
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引用标准
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
(GB/T2828.1-2003,ISO28591:1999,IDT)
GB/T6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T14264 半导体材料术语
所属分类： 冶金 半金属与半导体材料 元素半导体材料 电气工程 半导体材料
【英文标准名称】:StandardSpecificationforDeformedandPlainStainless-SteelBarsforConcreteReinforcement
【原文标准名称】:混凝土配筋用变形和普通不锈钢钢筋的标准规格
【标准号】:ASTMA955/A955M-2010a
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2010
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:A01.05
【标准类型】:(Specification)
【标准水平】:()
【中文主题词】:钢筋混凝土;耐腐蚀性;变形(突出物);磁性能;不锈钢筋
【英文主题词】:concretereinforcement;corrosionresistance;deformations(protrusions);magneticproperties;stainlesssteelbars
【摘要】:1.1Thisspecificationcoversdeformedandplainstainless-steelbarsforconcretereinforcementincutlengthsandcoilsusedinapplicationsrequiringresistancetocorrosionorcontrolledmagneticpermeability.ThestandardsizesanddimensionsofdeformedbarsandtheirnumericaldesignationshallbethoselistedinTable1.Thetextofthisspecificationreferencesnotesandfootnoteswhichprovideexplanatorymaterial.Thesenotesandfootnotes(excludingthoseintablesandfigures)shallnotbeconsideredasrequirementsofthespecification.1.1.1Supplementaryrequirement(S1)ofanoptionalnatureisprovided.Itshallapplyonlywhenspecifiedbythepurchaser.Inordertoobtainacontrolledmagneticpermeabilityproduct,steelconformingtoSupplementaryRequirementS1shouldbeordered.1.2Thechemicalcompositionofthestainlesssteelalloyshallbeselectedforsuitabilitytotheapplicationinvolvedbyagreementbetweenthemanufacturerandthepurchaser.Thisisanimportantconsiderationinachievingthedesiredcorrosionresistanceorcontrolledmagneticpermeability,orboth,becausethesepropertiesarenotprovidedbyallstainlesssteels.Note18212;ThealloysshowninTable2havefoundthemostuseinNorthAmerica.Otheralloysmayalsoprovidedesiredproperties;consultwiththemanufacturerforstainlesssteelalloypropertiesandavailability.1.3Barsareofthreeminimumyieldstrengthlevels,namely,40000[280MPa],60000[420MPa],and75000psi[520MPa],designatedasGrade40[280],Grade60[420],andGrade75[520],respectively.1.4Plainroundsinsizesuptoandincluding2in.[50.8mm]indiameterincoilsorcutlengths,whenordered,shallbefurnishedunderthisspecificationinGrade40[280],Grade60[420],andGrade75[520],respectively.Bendingproperties,whenrequired,shallbebyagreementbetweenthemanufacturerandpurchaser.Requirementsprovidingfordeformationsandmarkingshallnotbeapplicabletoplainbars.1.5Weldabilityofmoststainlesssteelcompositionsisgenerallygood,however,pre-weldorpost-weldprocedures,orboth,arenecessary.Wherematerialistobewelded,aweldingproceduresuitableforthechemicalcompositionandintendeduseorserviceshallbeused.Retestingofphysicalpropertiesshouldbeconsideredfollowingweldingproceduresdependinguponthesteelcompositionandweldingoperationinvolved.Note28212;ItisrecommendedthattheuserconsultthemanufacturerforinformationavailablefromtheNickelDevelopmentInstitute(NIDI)(Toronto,Canada).1.6Thisspecificationisapplicableforordersineitherinch-poundunits(asSpecificationA955)orinSIunits(asSpecificationA955M).1.7Thevaluesstatedineitherinch-poundorSIunitsaretoberegardedseparatelyasstandard.Withinthetext,theSIunitsareshowninbrackets.Thevaluesstatedineachsystemarenotexactequivalents;therefore,eachsystemshallbeusedindependentlyoftheother.Combiningvaluesfromthetwosystemsmayresultinnonconformancewiththestandard.1.8Thisstandarddoesnotpurporttoaddressallofthesafetyconcerns,ifany,associatedwithitsuse.Itistheresponsibilityoftheuserofthisstandardtoestablishappropriatesafetyandhealthpracticesanddeterminetheapplicabilityofregulatorylimitationspriortouse.
【中国标准分类号】:H49
【国际标准分类号】:77_140_60
【页数】:11P.;A4
【正文语种】:
【英文标准名称】:Aerospaceseries-Bolts,normalhexagonalhead,closetolerancenormalshank,shortthread,inheatandcorrosionresistingsteel,passivated-Classification:1100MPa(atambienttemperature)/425°C;GermanandEnglishversionEN3052:2009
【原文标准名称】:航空航天系列.短螺纹耐热耐蚀钢制钝化粗容差标称手柄标称六角头螺栓.等级:1100MPa(环境温度)/425°C,德文和英文版本EN3052:2009
【标准号】:DINEN3052-2009
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2009-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Aerospacetransport;Airtransport;Classificationsystems;Corrosion-resistantsteels;Designations;Dimensions;Fittingbolts;Hexagonheadbody-fitscrew;Hexagonheadscrews;Hightemperature;Materials;Multilingual;Properties;Screws(bolts);Spacetransport;Specification(approval);Steels;Threads;Tolerances(measurement)
【摘要】:Thisstandardspecifiesthecharacteristicsofbolts,normalhexagonalhead,closetolerancenormalshank,shortthread,inheatandcorrosionresistingsteel,passivated.Classification:1100MPa/425℃.
【中国标准分类号】:V20
【国际标准分类号】:49_030_20
【页数】:17P.;A4
【正文语种】:
